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真空泵组是一种用于排除容器或系统内部气体，从而形成真空环境的设备。它通常由一个或多个真空泵和相应的控制系统组成，利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气，从而改善、产生和维持真空状态。
真空泵是一种利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。
真空泵组是一种用于排除容器或系统内部气体，从而形成真空环境的设备。
